新型ZnO纳米线可显著降低湿度对SAW紫外传感器的影响

MEMS 2022-11-26 00:00
使用包裹有疏水性二氧化硅纳米颗粒的ZnO纳米线作为有效的敏感层,可以有效地阻止水分子在ZnO纳米线上的吸附。这种新的敏感层设计在10-70%的相对湿度范围内,最大限度地降低了湿度对基于ZnO纳米线的紫外传感器的影响。
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