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科学家成功改进等离子体深硅刻蚀技术,将晶圆微纳技术提至10nm级别,实现计量测量新突破
DeepTech深科技
2024-07-25 14:18
近日,西北农林科技大学本硕校友、德国布伦瑞克工业大学博士毕业生徐久帅和所在团队,揭示了低温深硅刻蚀纳米结构的动
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